1. Formen används ofta i utformningen av småskaliga och lågvärdiga renrumsverkstäder. För stora ytor med högkvalitativa rena verkstäder är driftkostnaden för hög.utrymmet är för stort och andra brister.
2.Formens utformning kan uppfylla kraven på stor yta och hög nivå av dammfri verkstad för tillverkning av integrerade kretsar, men driftskostnaden är hög och vindhastigheten och luftvolymen i renrummet är svåra att justera, och Systemet är svårt att uppgradera och omvandla, så operationsflexibiliteten är inte särskilt hög.
3.Huvudcirkulationssystem sparar inte bara driftutrymme, renlighet, hög säkerhet, låg driftskostnad och hög driftsflexibilitet, kan vara i påverkar inte produktionssituationen när som helst för systemuppgradering och justering, kan väl möta behoven för halvledartillverkning , därför i halvledartillverkningshuvudets cirkulationssystem gradvis bli det huvudsakliga reningsdesignschemat